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※オンライン会議アプリzoomを使ったWEBセミナーです。ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

レジスト・リソグラフィの基礎から先端技術について【LIVE配信】
～　先端半導体微細加工技術の現状、課題、今後の動向　～

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要
略称
レジスト・リソグラフィ【WEBセミナー】
セミナーNo.
210879
開催日時
2021年08月19日（木） 12:30～16:30
主催
（株）R＆D支援センター
問い合わせ
Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。　
価格
非会員：  49,500円 （本体価格：45,000円）
会員：  38,500円 （本体価格：35,000円）
学生：  49,500円 （本体価格：45,000円）
価格関連備考
会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円（税込）から
・1名で申込の場合、38,500円（税込）へ割引になります。
・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。
・3名以降は一人当たり定価の半額となります。

定　価　：1名につき 49,500円（税込）
会員価格：1名につき 38,500円　2名の場合 49,500円、3名の場合 74,250円（税込）

　※10名以上の同時申し込みの場合、1人当たり定価の30％価格にてご案内いたします。
　　49,500円×30％＝14,850円（税込）
　　お気軽にお問い合わせください→info@rdsc.co.jp

会員登録とは？　⇒　よくある質問
備考
・本セミナーは「Zoom」を使ったWEB配信セミナーとなります。

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
１）Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。

２）セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについてはこちらをご覧ください。

３）開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
講座の内容
受講対象・レベル
半導体研究・開発または半導体製造に携わって2～3年の若手研究者および技術者や新人の方
必要な予備知識
特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。
習得できる知識
半導体リソグラフィー技術に関する基礎知識および将来に向けての技術動向
趣旨
　近年IoTやAIの進展は半導体技術の進展によるところが大きい。この半導体の進展を支えてきたのは半導体微細加工技術である。2017年の半導体の世界全体の売り上げは412.2B$であり、2020年には450B$になると予想されている。このような中で、半導体の歴史、CMOSの動作原理等の半導体の基礎、半導体微細加工技術であるリソグラフィー技術の基礎、半導体ロードマップであるIRDSに基づいた次世代半導体微細加工技術の動向等を中心に解説する。特に、近年の次世代半導体微細加工技術の中のレジスト・プロセス技術の課題について紹介する。
　一方で日本の半導体歴史の中で、1985年から1990年代に掛けて日本の半導体分野は急激な進歩を遂げ、世界の中で大きなシェアを持っていた。現在日本では、半導体装置メーカや半導体関連の材料メーカが先端技術を有しており世界的にもシェアを維持している。これらの技術の今後の展望についても前半で述べた内容の中で解説する。
プログラム

1.半導体の基礎
　1-1.半導体とは
　1-2.半導体の歴史
　1-3.CMOSデバイスの動作原理
　1-4.各種メモリの動作原理
　1-5.半導体製造プロセス

2.半導体微細加工技術
　2-1.半導体微細加工とは
　2-2.半導体微細加工の必要性
　2-3.半導体微細加工の歴史
　2-4.半導体ロードマップ（IRDS）

3.先端半導体微細加工技術の現状、課題、今後の動向
　3-1.ArF液浸リソグラフィー技術
　3-2.極端紫外線リソグラフィー技術
　3-3.ナノインプリント技術
　3-4.自己組織化技術
　3-5.リソグラフィー技術の今後

4.レジスト材料プロセス技術
　4-1.レジストの歴史
　4-2.レジスト材料プロセス技術の現状と課題
　4-3.放射光を用いたレジスト評価技術
　4-4.レジスト材料プロセス技術の今後

5.世界おける日本の半導体技術覇権について
　5-1.課題
　5-2.課題解決に向けた今後の必要な取り込み

6.まとめ
 

【質疑応答】

キーワード
半導体,レジスト,リソグラフィー,微細加工技術,オンライン,セミナー,講演
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