★弾性体や圧電体の基本的な考え方・理論、BAWやSAWの原理、種類や励振方法から
今後のFBARやSAWの技術の動向などについて講演する。
1. 弾性体の基礎
1-1 弾性体の結晶構造
1-2 歪と応力の関係
1-3 弾性定数
(スチッフネス、コンプライアンス、(ポアソン比、ヤング率))
1-4 運動方程式
1-5 弾性体の縦波音速、横波音速は何に依存している、どのように求める
2. 圧電体とは
2-1 圧電現象
2-2 圧電方程式(圧電定数)
2-3 結晶構造のおける圧電定数の違い
2-4 電気機械結合係数
3. BAWとFBAR
3-1 バルク波(BAW)とは
3-2 厚みすべり振動とは
3-3 厚み縦振動とは
3-4 FBAR用材料
3-5 成膜方法
3-6 BAWやFBARの厚み振動共振子の周波数は何で決まる
3-7 厚み振動共振子の帯域は何で決まる
3-8 エネルギー閉じ込め振動とは
3-9 キャビティ構造とSMRの違いは
4. 共振子とラダーフィルタ
4-1 共振子
4-2 ネットワークアナライザによる共振子特性の測定
4-3 スミスチャート、動アドミタンス特性
4-4 共振周波数、反共振周波数とは
4-5 電気機械結合係数
4-6 Qとは
4-7 等価回路
4-8 2重モードフィルタとは
4-9 ラダーフィルタとは
4-10 フィルタの帯域は
4-11 帯域は何に依存する
4-12 高周波化するには
5. SAW
5-1 SAWとは
5-2 SAWとBAWの違い
5-3 SAWの励振
5-4 SAWの種類
5-5 レイリー波
5-6 漏洩弾性波
5-7 縦波型漏洩弾性波
5-8 セザワ波
5-9 BGS波
5-10 ラブ波
5-11 層状構造弾性波
5-12 境界波
6. 板波
6-1 板波とBAWやSAWとの違いは
6-2 ラム波と横波型(SH型)板波
6-3 LiNbO3やLiTaO3薄膜を用いたデバイスの例
7. SAWの解析方法
7-1 Campbell-Joneの方法
8. SAW用材料
8-1 セラミック(PZT等)
8-2 薄膜(ZnO等)
8-3 単結晶(LiTaO3,LiNbO3,水晶、LBO,ランガサイト等)
9. SAW共振子
9-1 SAW共振子の原理
10. SAWフィルタの種類
10-1 トランスバーサル型フィルタ
10-2 縦波型共振子フイルタ
10-3 横波型共振子フィルタ
10-4 ラダーフィルタ
11. 実用化に成功するために
12. 今後の動向
12-1 高周波化
12-2 広帯域化
12-3 他
【質疑応答】