☆究極のパワー半導体として注目される「ダイヤモンド半導体」!
その原理や課題、最新動向について、第一線で活躍される 佐賀大 嘉数先生 に解説していただきます!
1.なぜダイヤモンド半導体デバイスか パワー半導体デバイスの現状
2.ダイヤモンドの物性
2-1 結晶構造
2-2 電気物性
3.ダイヤモンドの結晶成長技術
3-1 従来の技術 高温高圧法、CVD法
3-2 大口径ダイヤモンド成長技術 ヘテロエピタキシャル成長
3-3 まとめ、今後の課題
4.ダイヤモンド半導体デバイス技術
4-1 従来の技術
4-2 ダイヤモンドパワー半導体作製技術
4-3 ダイヤモンドパワー半導体のDC特性
4-4 ダイヤモンドパワー半導体のパワー特性
5.ダイヤモンド半導体の課題と今後の展望