2022年01月28日(金)
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電鋳技術は古くから利用されており、金属のコピーといわれるレコード用スタンパーから、フォトリソ技術の融合によりDVD, BDのスタンパー、メタルマスク、印刷用メッシュ等の微細加工に普及してきた。近年では、通常の機械加工では製造が困難な高精度、超微細部品にその電鋳技術と微細加工技術の組み合わせによるMEMS部品やインクジェットノズル、噴射ノズル等の量産が始まっている。
今回の講演では、現場事象として、光ディスクマスタリング(ニッケル電鋳スタンパー製造)における、トラブルシューティングを通じ、ニッケル電鋳の基礎技術から、解決に至る工程を事例とともに紹介する。また、最新電鋳事情としてニッケル合金、貴金属電鋳によるMEMS部品生産の事例(薬品、装置)の一部を解説し、電鋳技術による新たな可能性を紹介する。
1.はじめに
2.電鋳の特徴
3.光ディスクスタンパーのトラブルシューティング
3−1.ニッケル電鋳によるスタンパー種類
3−2.裏面突起による不良とは
3−3.突起削減試験
3−3−1.仕上げ電鋳条件による試験・結果
3−3−2.アンモニア濃度管理による突起削減試験・結果
3−3−3.光沢剤添加試験・結果
3−3−4.フィルター見直し試験・結果
3−3−5.ピット防止剤の選定及び濃度管理試験・結果
3−3−6.最終決定条件によるロングランテスト結果
4.ニッケル合金による電鋳部品
4−1.中空微細部品の製造工程
4−2.ニッケル合金の特徴
5.ロジウムによる電鋳部品
5−1.ロジウムの特徴
5−2.ロジウムによるMEMS部品
5−3.ロジウム電鋳の課題と対策
5−4.ロジウム電鋳に適したウエファー用めっき装置
6.電鋳による新たな可能性について
7.超精密電鋳金型の離型性向上について
8.おわりに
【質疑応答】
13:00~14:10 講義1
14:10~14:20 休憩
14:20~15:30 講義2
15:30~15:40 休憩
15:40~16:50 講義3
16:50~17:00 質疑応答
※進行によって、多少前後する可能性がございます。
※質問は随時チャットか音声で受け付けます。
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