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☆日程が延期になりました。2/26（月）⇒ 7/22（月）

半導体ドライエッチングの基礎と最新技術【LIVE配信】
～反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング（PA-ALE）、熱原子層エッチング（thermal ALE）など～

※オンライン会議アプリZoomを使ったWEBセミナーです。アーカイブ配信（期間：7/26～8/2）のご視聴を希望される方は、【こちらのページ】からお申し込み下さい。

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要
略称
ドライエッチング【WEBセミナー】
セミナーNo.
240297
開催日時
2024年07月22日（月） 10:30～16:30
主催
（株）Ｒ＆Ｄ支援センター
問い合わせ
Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。　
価格
非会員：  55,000円 （本体価格：50,000円）
会員：  44,000円 （本体価格：40,000円）
学生：  55,000円 （本体価格：50,000円）
価格関連備考
会員の方あるいは新規会員登録していただくと、下記の割引が適用されます。
　・1名申込の場合、55,000円（税込）→44,000円（税込）
　・2名同時申込の場合、合計110,000円（税込）→合計55,000円（税込）
　　　※両名の会員登録が必要です。

会員登録とは？　⇒　よくある質問
定員
30名　※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
備考
・本セミナーは「Zoom」を使ったWEB配信セミナーとなります。

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
１）Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
２）セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについてはこちらをご覧ください。
３）開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
講座の内容
受講対象・レベル
半導体プロセスや関連ガス、材料に関する研究開発・生産製造に携わる方
（初心者から中級者まで）
習得できる知識
・エッチング用プラズマ装置の基礎
・プラズマエッチングにおける物質表面化学反応の基礎
・反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング（PA-ALE）、熱原子層エッチング（thermal ALE）の特徴と応用
趣旨
本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミクス、気相反応、および、反応性イオンエッチング（RIE）から、近年注目を集める原子層エッチング（ALE）にわたるドライエッチング技術に関して、プラズマ物質相互作用の物理機構から最新技術動向まで、詳しく紹介する。関連項目として、プラズマＣＶＤと原子層堆積（ALD)プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション（DX)の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。
プログラム

1.背景

2.プラズマ科学の基礎

3.代表的なプラズマプロセス装置
　a.容量結合型プラズマ（CCP）装置
　b.誘導結合型プラズマ（ICP）装置

4.反応性イオンエッチング（RIE）の基礎
　a.プラズマ表面相互作用
　b.表面帯電効果
　c.シリコン系材料エッチング反応機構
　d.金属・金属酸化物材料エッチング反応機構
　e.高アスペクト比（HAR)エッチング概要

5.プラズマCVD概要：原子層堆積（ALD)の基礎として

6.ALDプロセスの概要：原子層エッチング（ALE）の逆過程として
　a.熱ALD
　b.プラズマ支援(PA-)ALD

7.ALEプロセスの概要と最新技術動向
　a.PA-ALE
　b.熱ALE：リガンド交換
　c.熱ALE：金属錯体形成

8.半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション（DX)

9.まとめ

＜質疑応答＞

キーワード
半導体,ドライ,エッチング,プラズマ,ALD,ALE,原子層,入門,講座,研修,セミナー
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