☆表面分析の原理とそれに基づいた使い分けから、試料作製、測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウをわかりやすく解説する
Zoomを使ったWEBセミナーです。在宅、会社にいながらセミナーを受けられます。
１．表面分析法の特徴
1-1．表面分析の重要性
1-2．表面分析法の種類
1-3．表面分析法による機能材料評価の特徴
２．TOF-SIMS法の原理と特徴
2-1．二次イオン質量分析（SIMS）法の原理
2-2．質量分析器の比較
2-3．飛行時間型質量分析が表面分析となる理由
2-4．一次イオン源
2-5．イメージング分析
３．XPS法の原理と特徴
3-1．X線光電子分光（XPS）法の原理
3-2．XPS法が表面分析となる理由
3-3．イメージング分析
４．試料：サンプリングとハンドリング
4-1．測定できる試料と形状
4-2．ハンドリングとサンプリングの注意点
4-3．粉末試料
4-4．絶縁試料
4-5．電池材料、大気非暴露測定
５．深さ方向分析：イオンエッチングの原理と特徴
5-1．単原子イオンとクラスターイオン
5.2．クラスーイオンエッチングの原理と特徴
5-3．イオンエッチングによる表面汚染除去と注意点
5-4．深さ方向分析と注意点
６．TOF-SIMS法の測定と解析
6-1．正イオンスペクトルと負イオンスペクトル
6-2．マスピークの同定と注意点
6-3．データベースの利用と注意点
6-4．新しい技術（AIの利用、MS/MSの利用）
７．XPS法の測定と解析
7-1．ワイドスペクトル（サーベイスペクトル）
7-2．ナロースペクトル
7-3．化学状態分析と注意点
7-4．定量分析と注意点
7-4．新しい技術（薄膜構造解析）
８．最新の測定・解析例
8-1．表面性状の分析
8-2．表面微小異物の分析
8-3．配線材料・電極材料の分析
8-4．半導体材料の分析
９．まとめ
【質疑応答】