1. 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
2. 洗浄の4要素(温度、時間、化学、力学):力学が最も大切である理由
3. 半導体の洗浄に特有のこと(洗浄で実現したい状態)
4. 先端技術情報(半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
5. 半導体洗浄の基礎現象(薬液と流れの効果)
5-1. 化学で汚れを動かす操作:薬液の働き(付着・脱離・引き剥がす)と乾燥
5-2. 力学で汚れを動かす操作:流れ、熱、拡散
5-3. 装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層)
5-4. 流れの可視化観察(「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)
6. 洗浄機内の流れと反応
6-1. 枚葉式洗浄機
(1)水の流れの実例(実機の観察動画とシミュレーションの例)
(2)ノズルのスイングを続ける工学的理由
(3)化学反応の例(表面反応もここまで分かる)
6-2. バッチ式洗浄機
(1)水の流れの実例(実機の観察動画とシミュレーションの例)
(2)水流を低コストで最適化した事例(入口と出口を変える)
(3)上下揺動で流れを巻き込む
6-3. 超音波の働き
(1)水と気泡の動きの実例(実機の観察動画)
7. 洗浄結果の評価方法
8. 狭い空間の洗浄(盲点と工夫)
9. まとめ:困った時の視点と対策(境界層を壊そう!)
10. まとめ:困らないように(地球環境は壊さない!)
【質疑応答】