知らなかったでは済まない。事故が起きてからでは遅い。防げる事故・失敗をきちんと防ぐための必修知識を提供
1.基礎の無理解とブラックボックス化がトラブルと事故を起こす!
1.1 基礎の無理解が引き起こした真空作業の大事故例
この章の主なキーワード
・MRIや液体窒素容器などの爆発事故例
・事故時の担当者に欠けていた基礎物理を確認する問題例
・リスクマネジメントとハインリッヒの法則
2.無駄なトラブルと事故を避けるため、2時間で学ぶ真空物理の基礎のキ!
2.1 気体分子運動論と気体の性質
2.2 気体の流れと真空排気
2.3 真空排気の理想と現実
2.4 ガス放出速度とは
この章の主なキーワード
・真空容器内のガス分子 ・真空度と分子密度 ・気体の流れの分類 ・気体の速度分布
・気体分子の平均自由工程 ・気体分子の入射頻度 ・真空の領域区分
・有効排気速度とコンダクタンスの合成 ・真空排気を邪魔する5つのガス源
・排気の方程式 ・理想的な真空表面 ・表面への気体の入射頻度と吸着
・表面における気体の滞在時間と脱離
3.真空材料と加工
3.1 材料とその特性
3.2 材料特性を無視した材料選び(使用して後悔する材料)
3.3 機械加工・接合
3.4 低真空用でも無視できない表面処理・表面改質
3.5 低真空用でもベーキング・プリベーキングはご利益あり
この章の主なキーワード
・真空材料に必要な諸特性 ・SUS304と316の違いと使い分け
・真空用マシーナブル・セラミックス ・真空用エンジニアリング・プラスチック
・真空材料の機械加工法・接合法 ・部品の接合、表面処理、リークテストの順序
・実用表面の初期状態と加工変質層 ・真空機器の洗浄と表面処理
・真空機器加工発注時の重要なポイント
4.真空機器構成部品
4.1 各種真空ポンプの原理と特徴
4.2 各種真空計と残留ガス質量分析計の原理と特徴
4.3 その他、真空システムアクセサリー
この章の主なキーワード
・丈夫で長持ち、油回転ポンプ ・製品の油汚染に要注意、油拡散ポンプ
・ポンプ寿命に気を付けよう、ドライポンプ ・オイルフリーポンプのキャッチコピーを疑え!
・多様化で選択肢が増えたターボ分子ポンプ ・真空計の校正は?
・汚染される程、良い真空度! ・ポンプと真空計の最新トレンド
5.真空システムの設計・製造・運転・保守におけるトラブル事例と解決法
5.1 真空容器・部品材料の選択ミス
5.2 排気ポンプと真空計の選択ミス
5.3 真空ポンプが無駄になる真空配管
5.4 オイルフリー排気系の落とし穴
5.5 その操作ではせっかくの真空システムが汚れてしまう
5.6 ケチってはいけない真空システムアクセサリー・周辺機器・設備
この章の主なキーワード
・真空装置設計上の一般的検討項目と装置固有の検討項目 ・真空容器の機械的強度
・恐ろしい擬似リーク ・時間を無駄にしないリークテスト法
・真空機器が出すノイズ、貰うノイズ ・真空計では測れないダストパーティクル
・少ないトラブルに必要な人間工学的設計 ・思った以上に気体が通り易いエラストマー
・間違っているのを知らずに汚染を進めている、ポンプの起動
6.まとめ
□質疑応答□