拡散接合の基礎・最新技術動向と接合部評価の実際【WEBセミナー】

－パワー半導体の接合技術は拡散接合法の縮図－

1．拡散接合の技術動向
　1.1 拡散接合とは
　　1.1.1 実用化している溶接・接合
　　1.1.2 拡散接合定義
　　1.1.3 大学での実験室（動画）
　1.2 最近の接合技術動向
　　1.2.1 研究報告数の推移
　　1.2.2 最近5年間の学会口頭発表
　　1.2.3 新技術説明会での特許出願
　　1.2.4 科研費の推移

2．拡散接合の適用例
　2.1 伝統工芸での接合
　　2.1.1 木目金の接合は、共晶拡散接合
　2.2 30年前の傾向・適用例
　　2.2.1 同種金属の拡散接合実用例
　　2.2.2 異種金属の拡散接合実用例
　　2.2.3 拡散接合製品とその接合条件
　　2.2.4 拡散接合の導入のポイント
　2.3 最近の傾向・適用例
　　2.3.1 拡散接合型コンパクト熱交換器
　　2.3.2 ベーパーチャンバーの開発
　　2.3.3 製鉄所の熱交換器
　　2.3.4 マイクロポンプの接合
　　2.3.5 クリッププレート（iPod）
　　2.3.6 機械要素技術展

3．金属を接合するには
　3.1 理想的な接合実験
　3.2 金属の固相接合開始温度は
　3.3 加圧力と接合温度との関係

4．拡散接合装置について
　4.1 市販の拡散接合装置
　4.2 拡散接合装置の現状

5．拡散接合部の面積の増加過程
　5.1 接合面積の数値計算
　5.2 実測値と数値計算との比較
　5.3 各機構の寄与割合

6．接合表面皮膜の挙動
　6.1 真空中加熱での表面組成変化
　6.2 真空中加熱での残留ガス
　6.3 破面の介在物の組成
　6.4 接合面での酸化皮膜の挙動
　6.5 各種アルミニウム合金の拡散接合
　6.6 同種金属接合でのポイント

7．接合部の空隙内のガスの挙動
　7.1 空隙内残留ガス分析装置
　7.2 接合部空隙内のガス
　7.3 どんな接合雰囲気が良いか

8．接合面での結晶方位差の影響
　8.1 モリブデンの接合の場合
　8.2 粒移動しても欠陥が

9．異種金属の接合
　9.1 金属間化合物相厚さと継手強さ
　9.2 銅中の酸素量の影響
　9.3 異種金属の接合の問題点・改善策

10．金属とセラミックスの接合
　10.1 金属とセラミックスの反応
　10.2 熱応力緩和策

11．液相拡散接合
　11.1 液相拡散接合過程
　11.2 液相拡散接合による補修

12．接合の改善策（清浄化法）の技術動向
　12.1 イオン衝撃法
　12.2 イオン衝撃による新機能クラッド材料
　12.3 シリコンウェハーのイオン活性化接合
　12.4 相対すべりの効果
　12.5 ハロゲン化処理

13．接合の改善策（密着化法）の技術動向
　13.1 接合部への変態の影響
　13.2 変態超塑性を利用した成形と接合
　13.3 水素誘起変態を用いた低温接合
　13.4 微結晶金属薄膜の利用
　13.5 接合材の加工度の影響

14．パワー半導体の組み立て
　14.1 高密度化、効率化傾向
　14.2 パワー半導体組み立て技術
　14.3 液相拡散接合（TLP接合）
　14.4 金属粒子焼結接合

15．熱膨張を利用した加圧接合
　15.1 接合時の加圧法の検討
　15.2 熱膨張加圧法
　15.3 熱膨張加圧の有利性

16．拡散接合部の機械的・金属学的評価
　16.1 接合前後の評価
　16.2 引張り試験形状
　16.3 接合部の評価はSEMで
　16.4 接合部の破面評価
　16.5 接合部の気密性

17．拡散接合部の非破壊検査
　17.1 超音波の反射量と空隙サイズ
　17.2 モデル欠陥内蔵接合部の超音波探傷
　17.3 検出可能サイズは
　17.4 異種金属部の超音波探傷
　17.5 ガスタービンの非破壊試験法（動画）
　17.6 ステンレス鋼積層接合部のX線CT

18．拡散接合が発展するには
　18.1 拡散接合部の特異性
　18.2 金属箔の積層接合

19．技術相談（希望者のみ）