年々、複雑かつ様々なケースの問題が報告され、新たな知見や知識が求められる静電気放電対策(ESD対策)。
静電気・静電気放電の特性と挙動、静電気の数値化・可視化、各種静電気問題と対策、測定機器とその活用、各種製造工程における静電気問題と対策、最新動向など、静電気対策(ESD対策)の基本と考え方・キーポイントを分かりやすく解説します。
第1部:静電気対策基礎編(初学者の方にもわかりやすく解説。実験を踏まえた内容です。)
1.静電気の基礎
1.1 静電気とは?(静電気利用と問題)
1.2 電荷・静電容量・電位
1.3 静電気発生のプロセス(摩擦・剥離・誘導と帯電列)
1.4 静電気放電(ESD)のプロセス(コロナ・グロー・アーク)
1.5 帯電電位と塵埃付着の関係(エッジ効果)
1.6 静電気問題及び対策(静電気の数値化・可視化)
1.6.1 抵抗測定器(靴・リストストラップ・床・拡散性対策材料)
1.6.2 静電気測定器(電界計・ACFB表面電位計・DCFB表面電位計)
実演:歩行中の人体帯電測定・対象物の大きさと測定精度
1.6.3 電荷量の測定(ナノクーロンメーター)
1.6.4 イオナイザーの検査・評価(チャージド・プレートモニター)
1.6.5 静電気放電の検出
2.静電気による問題
2.1 人体帯電モデル(HBM)
2.2 チャージドデバイスモデル(CDM)
2.3 帯電したPCB基板からの静電気放電(CBE)
2.4 帯電したケーブルからの静電気放電(CDE)
2.5 静電気帯電が形成する電界による誘導帯電
3.静電気対策
3.1 接地
3.2 導電性材料・拡散性材料の使用(温湿度環境と表面抵抗値・対策レベルと表面抵抗値)
3.3 加湿(湿度環境と静電気帯電電位の関係)
3.4 静電シールド(電界の遮蔽)
3.5 イオナイザー
3.5.1 イオンの生成方式:放射線型・DC型・パルスDC型・AC型・パルスAC型・高周波型・次世代AC型
3.5.2 形式:バー型・デスクトップ型・オーバヘッド型・ノズル型・ガン型
3.5.3 イオンバランス制御方式:センサーフードバック方式・自己制御方式
3.5.4 性能評価:イオンバランス・イオンバランスの均一性・減衰特性・誘導帯電の有無・EMI
第2部:静電気対策応用編
4.ESD対策に必要とされる測定機とその目的や使用方法
4.1 抵抗測定器(表面抵抗・表面抵抗率・接地間抵抗)
4.2 イオナイザーの評価器(チャージドプレートモニター)
4.3 電位測定器(人体・PCB・ID・電子デバイス)
4.4 放電検知器
4.5 その他
5.ESDトラブルシューティングを行う際の測定・対策ポイント
5.1 PCBA工程
5.2 製品組み立て工程
5.3 半導体後工程
5.4 半導体前工程
5.5 シート材製造(フィルム等)