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☆プラズマエッチングの技術課題とその解決の方向性についてわかりやすく解説!!

プラズマエッチングの基礎から
昨今の技術課題とプラズマ最適化設計について

~ プラズマエッチングに関する現在ならびに将来の課題 ~
~ プラズマダメージ最適化に関するノウハウについて ~

セミナー概要

略称
プラズマエッチング
セミナーNo.
開催日時
2019年04月19日(金)12:30~16:30
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
開催場所
商工情報センター(カメリアプラザ) 9F 研修室
講師
京都大学 工学研究科 教授 博士(工学) 江利口 浩二 氏

【ご専門】プラズマ応用工学,信頼性工学

【ご略歴】
1991年3月京都大学大学院工学研究科修士課程を修了後,
1991年4月より松下電器産業(株)(現パナソニック(株))で勤務,
2005年7月に京都大学大学院工学研究科助教授,
2016年7月に同教授に就任し現在に至る.

松下電器産業(株)ならびに京都大学では,主に,反応性プラズマプロセスにおけるプラズマ・半導体デバイス表面界面相互作用ならびに絶縁体・半導体・金属材料の信頼性物理機構の研究の研究に従事.32nd Dry Process Symposium, 2009 Best Paper Award,第9回(2010)プラズマエレクトロニクス賞,2011年度応用物理学会優秀論文賞(応用物理学会),2015 Dry Process Symposium, Paper Award(応用物理学会)を受賞.

【所属学会】
応用物理学会,日本真空学会,日本航空宇宙学会,米国電気電子学会(IEEE),米国真空学会(AVS).
価格
非会員: 49,980円(税込)
会員: 47,250円(税込)
学生: 10,800円(税込)
価格関連備考
■ 会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で49,980円(税込)から
 ・1名で申込の場合、47,250円(税込)へ割引になります。
 ・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,980円(2人目無料)です。
■ 会員登録とは? ⇒ よくある質問
■ 学生価格は、教職員や研究員、企業に在籍されている学生には適用されません。
また、当日学生証をご持参ください。
定員
30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
備考
資料付

講座の内容

受講対象・レベル
・大学や企業でプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方
・企業でプラズマプロセス設計に従事されている方
・大学や企業でデバイス信頼性評価に従事されている方
・プラズマとデバイスとの相互作用に関する研究に従事されている方
(主にプロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方.学生も含む)
必要な予備知識
高校~大学教養課程レベルの物理・化学・数学の知識.
習得できる知識
・プラズマプロセス工学の基礎知識
・プラズマエッチングに関する現在ならびに将来の課題
・プラズマダメージ最適化に関するノウハウ
・プラズマプロセスシミュレーションの基礎知識
趣旨
 現在,超微細半導体デバイスをはじめ,さまざまなデバイス製造において,プラズマエッチングは重要な役割を担っている.プラズマエッチングの基礎的理解は,研究開発のみならず,生産現場でのプロセス管理においても重要である.しかしながら,一般の専門書だけでは,最先端のプラズマエッチングの実用上の課題を把握することは困難である.本講座では,近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として,プラズマ誘起ダメージを中心にとりあげ,プラズマエッチング現場での課題とその解決の方向性について議論する.
プログラム
1.プラズマとは
 1)プラズマ技術の産業応用例
 2)プラズマを理解するためのパラメータ

2.プラズマエッチングとは
 1)超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
 2)超微細加工の基本メカニズム:反応性イオンエッチングとは

3.最先端プラズマエッチングにおける技術課題について
 1)加工形状異常に代表される課題とそのメカニズム
 2)昨今の最重要課題~プラズマ誘起ダメージ
 3)プラズマ誘起ダメージ対策の歴史

4.最先端プロセス性能を決めるプラズマ誘起ダメージについて
 1)3つのダメージ発生機構
 2)プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下
 3)プラズマ誘起ダメージによる信頼性劣化
 4)デバイス構造3次元化における新たな課題
 5)わかっていること・わかっていないこと
 6)シミュレーションからプラズマ誘起ダメージを設計する

5.今後の展望
 1)今後も必要不可欠なプラズマエッチング
 2)プラズマ誘起ダメージを踏まえた今後のプロセス最適化設計とは
    我々は何を明らかにし,何に取り組むべきか

【質疑応答・名刺交換】
キーワード
プラズマ,プラズマエッチング,デバイス,誘起ダメージ,課題,展望,セミナー,研修,講演

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