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スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説【LIVE配信】

※新型コロナウイルスの影響で、通常セミナーからLIVE配信に変更しました。6/3UP
※オンライン会議アプリzoomを使ったWEBセミナーです。会場での参加はございません。ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

セミナー概要

略称
スパッタ膜質改善【WEBセミナー】
セミナーNo.
200710  
開催日時
2020年07月14日(火)10:00~16:30
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
開催場所
【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます 
講師
ペルノックス(株) ( 荒川化学工業(株) ) 開発統括部 開発センター長 工学博士 岩村 栄治 氏
価格
非会員: 55,000円(税込)
会員: 49,500円(税込)
学生: 11,000円(税込)
価格関連備考
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円(税込)から
 ★1名で申込の場合、49,500円(税込)へ割引になります。
 ★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円(2人目無料)です。
 会員登録とは?⇒ よくある質問
定員
テキストを事前に発送するために、7月7日頃までにお申込ください。それ以降にお申込をご希望のされる際には、お問い合わせください。
備考
資料付

・本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
・「ミーティング用Zoomクライアント」をダウンロードするか、ZOOM を
  ダウンロードせず、Web ブラウザから参加するかの2種類がございます。
  ZOOM WEBセミナーのはじめかたについてはこちらをご覧ください。

・お申込み後、受理のご連絡メールをさせていただきます。
 一部メールが通常セミナー形式(受講券、請求書、会場の地図)になっておりますが
 LIVE配信のみのセミナーです。
・お申込み後、接続テスト用のURL(https://zoom.us/test)から
「ミーティングテストに参加」を押していただき動作確認をお願いします。
・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー開催日時の10分前に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
・セミナー資料は郵送にて前日までには、お送りいたします。
ご自宅への送付を希望の方はコメント欄にご住所などをご記入ください。
・ご質問については、オープンにできるご質問をチャットにご記入ください。
 個別相談(他社に知られたくない)のご質問は後日メールにて講師と直接お願いします。
・タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
・講義の録音、録画などの行為や、テキスト資料、講演データの権利者の許可なく
 複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。

講座の内容

趣旨
 本講演では、スパッタや真空蒸着によって作成される薄膜において、精密な膜質制御しようとする際に必要となる、真空やプラズマの基礎知識から成膜現象の詳細、膜応力や剥離の発生メカニズムと改善策や評価方法、反応性成膜や多層膜における膜質制御に至るまで、具体的な成膜や特性改善事例をまじえながらわかりやすく解説します。
 主に無機・金属薄膜を取り上げますが、最新の話題を含めてできるだけ幅広い成膜技術を紹介します。スパッタ・真空蒸着のみならず広く薄膜形成プロセスに関わる初学者、中堅(開発)技術者に適した内容で、基本知識から実践技術まで系統的に学びたい方、現在成膜や応力・密着力に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方に実際に役に立つ内容を提供したいと思います。
プログラム
1.成膜プロセスと薄膜形成現象の基本
 1-1.膜質改善のために薄膜形成プロセスのどこに注意すべきか
 1-2.スパッタと真空蒸着の違い
 1-3.装置と真空を扱うための基礎知識
 1-4.成膜開始から薄膜の初期構造や微視的組織が形成されるまでの過程
 1-5.成膜パラメータの制御とプロセス最適化の方法

2.プラズマを利用した膜質制御
 2-1.成膜環境と粒子輸送の基本
 2-2.プラズマとは:制御パラメータと評価方法
 2-3.プラズマ特性・分布と膜質への影響
 2-4.イオン・高エネルギー照射現象と粒子打ち込みによる膜質改善のメカニズム
 2-5.反応性成膜の基本知識と膜質制御のポイント

3.応力と密着性の制御
 3-1. 膜応力とは:知っておきたい特徴と応力発生のメカニズム
 3-2. 膜応力低減の各種手法とその考え方
 3-3. 膜応力の評価手法のポイント:X線回折法・ラマン分光法・基板曲率法
 3-4. 薄膜の密着力とは:薄膜/基材界面の構造と密着力の本質
 3-5. 様々な剥離形態から読み取る密着性低下の要因
 3-6. 剥離対策の考え方と手法
 3-7. 密着力の評価方法のポイント:
      テープテスト・ピールテスト・3(4)点曲げ試験・スクラッチ試験

4.多層膜化による膜質制御
 4-1.(ナノ)多層膜化による膜質改善の本質と材料設計の考え方
 4-2.多層膜化による特性の改善

5.まとめ

​<質疑応答・名刺交換>
キーワード
薄膜,応力,付着力,密着性,評価,膜質制御,研修,講習会,セミナー

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