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半導体正常における枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れについて可視化観察例等を流れの特徴と問題点を考察を踏まえながら解説!

半導体製造における洗浄方法と装置の理解と課題、そして解決法【LIVE配信】

※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。

セミナー概要

略称
半導体洗浄【WEBセミナー】
セミナーNo.
開催日時
2021年01月20日(水)12:30~16:30
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
開催場所
【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます 
講師
国立大学法人 横浜国立大学 大学院工学研究院 博士(工学)教授 羽深 等 氏

【略歴】
1981年 京都大学大学院理学研究科化学専攻修士課程 修了
1981年 信越化学工業株式会社(半導体磯部研究所)
1996年 博士(工学)(広島大学)
2000年 横浜国立大学工学部物質工学科 助教授
2002年 横浜国立大学大学院工学研究院 教授
現在 横浜国立大学大学院理工学府化学・生命系理工学専攻 教授
横浜国立大学理工学部副学部長
教育分野 化学工学・反応工学
学協会役職 化学工学会エレクトロニクス部会 部会長
化学工学会反応部会CVD反応分科会 幹事
よこはま高度実装技術コンソーシアム 理事長


価格
非会員: 49,500円(税込)
会員: 46,200円(税込)
学生: 49,500円(税込)
価格関連備考
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円(税込)から
 ★1名で申込の場合、46,200円(税込)へ割引になります。
 ★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円(2人目無料)です。
■会員登録とは? ⇒ よくある質問
定員
30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
備考
【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1)Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントを
  ダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2)セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたに
  ついてはこちらをご覧ください。
3)開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始
  10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加
  ください。

・セミナー資料は開催前日までにPDFデータにてお送りいたします。
 無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

講座の内容

受講対象・レベル
半導体洗浄業務にたずさわって2~3年の若手技術者や新人の方。
新人を指導する立場にある半導体洗浄技術マネージャー
半導体洗浄技術を構成している要素・要点を知りたい技術者・研究者。
半導体洗浄技術の課題を理解しているが、その解決方法を模索している技術者・研究者。
その他、先端洗浄で困った時の要点を知りたい技術者。

必要な予備知識
特に予備知識は必要ありません。基本になる予備知識(流れの基礎)から解説します。
習得できる知識
半導体洗浄に関わる以下の知識と手法が得られ、洗浄時間と効果の向上に活かせます。
・化学工学の基礎(工業生産プロセスの主要要素を成す流れ・熱・拡散などの考え方)
・流れの実感(簡易可視化実験(実演))
・液体の流れを見抜いて使う考え方
・流れの改善により工程短縮、品質向上、などを進める方法
・プロセスの限界を見極め、それを乗り越えるための考え方
趣旨
半導体洗浄に関わる基礎知識と手法について解説します。湿式の洗浄は、汚れを(1)薬液や超音波などにより表面から引き剥がし、(2)「流れ」により運び去ること、によって行われます。即ち、洗浄の主要素の一つは、「流体(液体)の動き」です。流れは難解に思われがちですが、流れを正面から捉えて、方法の理解、課題の発見、解明、解決と改善に結びつける方法を知れば、その効果は著しいはずです。そこで本セミナーでは、予備知識として流れを含む「移動する現象」の基礎事項と法則から説明します。そして、流れの可視化実験の実演を通して、流れの見方を説明し、容器内の流れの様子を説明します。次に、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れ、超音波を加えた時の流れについて可視化観察例と計算例を紹介し、流れの特徴と問題点を考察します。特に、実際の水の動き、その水流のもとで進行する化学反応、理想的な水の動きとは何か、それを簡便に創り出す方法、そして、困った時の考え方について詳述します。
プログラム
1.洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?

2.一般の洗浄(洗浄の4要素:温度、時間、化学、力学)

3.半導体の洗浄に特有のこと

4.先端技術情報(半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)

5.半導体洗浄の基礎現象(化学工学)

 5-1. 表面(付着・脱離・引き剥がす)
 5-2. 流れ、熱、拡散、反応、境界層
  (1) 半導体洗浄の要素を成す基礎現象(流れ、熱、拡散)
  (2) 基礎現象の法則
 5-3. 装置内流れの種類

6.「流れ」の感覚を掴む
 6-1.流れの可視化実験(実演+映像)
 6-2.流れの種類(循環流れ、一方向流れ)

7.枚葉式洗浄機の流れと反応
 7-1.流れの可視化観察方法と例
 7-2.流れの計算
 7-3.表面反応の解析例

8.バッチ式洗浄機の流れ
 8-1.流れの可視化観察方法と例
 8-2.ノズル設計の視点
 8-3.排出設計の視点
 8-4.検証方法

9.超音波洗浄
 9-1. 超音波の効果と役割
 9-2. 超音波の影響:水流
 9-3. 超音波の影響:気泡

10.まとめ:課題解決の要点 
 
困った時には境界層を壊せ
キーワード
半導体,洗浄,枚葉式,パッチ式,洗浄機,流れ,セミナー,研修,講習会

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