ロールtoロールのウェット/表面処理技術

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セミナー概要
セミナーNo.
121134
開催日時
2012年11月26日(月) 10:30~16:30
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
開催場所
江東区産業会館 第2会議室
価格
非会員:  52,360円 (本体価格:47,600円)
会員:  49,500円 (本体価格:45,000円)
価格関連備考
・1名につき47,250円(税込、資料付き)
※大学生、教員のご参加は、1名に付き受講料10,500円です。(ただし、企業に在籍されている研究員の方は除きます。)
特典
・2名同時にお申し込みいただいた場合、2人目は無料(2名で49,980円)※ただし、2名とも案内登録をしていただいた場合に限ります。
定員
30名 ※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。
講座の内容
趣旨
 エレクトロニクス分野において、フレキしプル基板/デバイスの製造技術の1つとしてロールtoロール方式の製造技術が脚光を浴びています。ロールtoロール方式により、高速・効率的な成膜/表面加工/パターニングが実現可能な他、供給がロールで行えることから容易になるためです。ロールtoロール方式の製造ラインに、成膜工程や表面加工やパターニングなどの各種工程が組み込まれますが、ここで欠かせないのがめっき、レジスト塗布、現像処理、エッチング、洗浄などのウェット処理(表面処理)です。本セミナーでは、ロールtoロール方式のウェット処理(表面処理)装置の業界トップメーカーである瀬戸技研工業が、最新の有機EL照明用洗浄装置・技術を含め、ロールtoロール方式による、めっき・レジスト塗布・現像・エッチング・洗浄技術などについて、分かりやすく、かつ詳細に解説します。
プログラム
1.ロールtoロールについて 
2.ロールtoロール技術の基礎
  2-1 ロールtoロールとリールtoロールの違い
  2-2 コア巻き取りの場合-メリット・デメリット
  2-3 リール巻き取りの場合-メリット・デメリット
  2-4 発塵対策
3.ウェット処理プロセス
4.ロールtoロール方式の表面処理技術の基礎
  4-1 種類
  4-2 処理の形態
  4-3 搬送方法
5.ロールtoロール方式のめっき処理技術と装置
  5-1 めっきの種類と処理
  5-2 各めっき装置
  5-3 めっき装置でのトラブル事例
6.ロールtoロール方式のレジスト塗布・現像処理技術と装置
  6-1 レジスト塗布の種類と処理
  6-2 塗布装置
  6-3 塗布装置でのトラブル事例
  6-4 現像処理の種類と処理
  6-5 各現像装置
  6-6 現像装置でのトラブル事例
7.ロールtoロール方式のエッチング処理技術と装置
  7-1 エッチング処理の種類と処理
  7-2 各エッチング装置
  7-3 エッチング装置でのトラブル事例
8.ロールtoロール方式の剥離処理技術と装置
  8-1 剥離処理の種類と処理
  8-2 各剥離装置
  8-3 剥離装置でのトラブル事例
9.ロールtoロール方式の洗浄処理技術と装置
  9-1 洗浄処理の方法と種類
  9-2 フィルム式有機EL照明製造用洗浄装置
  9-3 洗浄でのトラブル事例
10. ロールtoロール方式の表面処理技術の総括
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