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１．膜応力とは：応力制御のために必要な基礎知識
1-1.なぜ薄膜に応力が生じるのか：引張応力と圧縮応力
1-2.マクロな変形とStoneyの式
1-3.膜応力とは何か？
1-4.膜応力を生じる要因と応力発生メカニズム
1-5.知っておくべき膜応力の性質：
・パターンニングされた膜の応力
・多層膜における応力
・異種材料がインテグレーションされた膜構造での応力
1-6.膜応力を低減するにはどうすればいいのか？
２．なぜ剥離が生じるのか：密着性を改善の考え方
2-1.表面・界面エネルギーおよび剥離仕事
2-2.実際の薄膜／基板界面の構造
2-3.密着と粘着・接着との違い
2-4.なぜ剥離が生じるのか？：剥離の形態とそこから読み取れる密着性不良を起こした要因
2-5.剥離・破壊の基本的考え方
2-6.密着させるための条件と剥離させないための条件との違い
2-7.密着性改善の具体的な方法
３．膜応力・密着力の測定：どの方法を選べば良いのか？どこまで測定値は信頼できるか？
3-1.膜応力の具体的な測り方とポイント：
・X線回折法
・ラマン分光法
・基板曲率法
3-2.密着力の具体的な測り方とポイント：
・テープテスト
・３点曲げテスト
・スクラッチテスト
４．剥離した！：なぜ密着性が悪いかを調べ対策を立てる具体的手順
4-1.剥離領域の解析手順と具体的な材料評価のやり方
4-2.密着不良の原因解析と密着力改善の一連のプロセスの具体例
５．まとめ
［質疑応答・名刺交換］
