2018年04月26日（木）
10:30～16:30
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よくある質問
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これからEPMAに関わる人への専門家入門であり、中堅技術者にはさらに突っ込んだ応用技術習得であり、EPMAを広く正確に利用したい人すべてが対象です。
EPMAとはなんぞや、原理・装置構造・分析法、一般的応用力・先端的応用力、意外に比較的簡単に出来る特殊な応用力。そして思い込みや落とし穴への注意と真実に迫る判断力。
各種マイクロアナライザーの標準機とも言われるEPMAは、金属・鉱物・セラミックス・高分子・生体などあらゆる固体のμm領域の成分・状態解析の標準機として広く使われています。しかし、間違った思い込みやデータ解析の落とし穴も少なくありません。装置・手法の基本と特徴と応用、そして先端的応用、さらに、ミクロの真実に迫る重要観点について、分かりやすく、そして突っ込んでお話しします。
１．EPMAの基礎
1-1 電子と試料の相互作用
1-2 電子・Ｘ線の振舞い
1-3 基本的分析モード
1-4 元素分析と状態分析
２．装置の構成
2-1 基本構成
2-2 電子ビーム照射系と重要条件
2-3 Ｘ線分光検出系と重要条件
2-4 電子信号の検出
2-5 Ｘ線取り出し角度の意味と分析精度
３．事例に基づく各種分析法
3-1 定性分析法と注意
3-2 定量分析法の種類と特徴
3-3 面分析法と注意
3-4 Ｘ線スペクトルによる状態分析
４．試料作成とデータ信頼性
4-1 試料作成のツボ
4-2 試料コンタミネーション
4-3 研磨、エッチングの注意
５．故障解析への利用
5-1 故障の原因か故障の結果か
5-2 様々な故障原因とマイクロアナリシス
６．非常に重要な空間分解能
6-1 美しいデータや興味深いデータは正しいデータか
6-2 空間分解能とはなにか
6-3 極表面、薄膜、バルク試料の空間分解能
6-4 空間分解能と分析感度
6-5 走査像／マッピングの落とし穴
７．特別な機能
7-1 カソードルミネッセンス
7-2 チャンネリング
7-3 磁区観察
7-4 コッセルパターン
８．Ｘ線分析の最先端技術の紹介
EDX,違い,分析,高分子,スペクトル,,研修,講習会
