１．塗布乾燥プロセスの概要
1-1.関連する産業分野と塗布方式
1-2.関与する物理現象、種々の膜厚ムラ
２．液膜内の熱流動に関する物理
2-1.液膜流れ
2-2.表面張力と重力
2-3.遠心力と粘性力
2-4.マランゴニ効果
2-4-1.マランゴニ・ベナール不安定性
2-5.熱伝導・物質拡散
2-6.蒸発
2-6-1.乾燥中の蒸発と拡散
2-7.液膜流れの支配方程式
2-7-1.一般的な混相流の支配方程式
2-7-2.潤滑近似
2-8.スピンコート中の膜厚変化
2-9.液膜に生じた膜厚不均一の緩和挙動
３．各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
3-1.基板端部の隆起
3-1-1.発生するムラの特徴：実験的な観察結果から
3-1-2.何が起きているのか：背景物理の理解と数値シミュレーション
3-1-3.対策方針
3-2.放射状スジムラ
3-2-1.発生するムラの特徴：実験的な観察結果から
3-2-2.何が起きているのか：背景物理の理解と数値シミュレーション
3-2-3.対策方針
４．膜厚ムラの分析方法
4-1.膜厚ムラの観察方法
4-2.干渉光学系による膜厚の測定
4-3.数値シミュレーション方法
4-4.塗布・乾燥プロセスに関与する物性値の種類
4-5.液膜流れの性質を生かした、効率的な計算方法
4-6. 物理法則に基づいた機械学習(PINNs)による液膜流れの解析