★エッチング技術の基礎・メカニズムから先端エッチング技術まで幅広く解説!
★エッチングにおける課題、課題解決へのアプローチを理解できる!
※オンライン会議アプリzoomを使ったWEBセミナーです。ご自宅や職場のノートPCで受講できます。
1.エッチングの基礎
1-1 微細加工
1-2 プラズマの生成とエッチング
2.異方性エッチング
2-1 異方性エッチングのメカニズム
2-2 異方性エッチング向け製造装置
3.等方性エッチング
3-1 等方性エッチングのニーズ
3-2 等方性エッチングへのアプローチ
3-3 等方性エッチングの例
4.エッチングの高機能化- パルスプラズマ
4-1 ソースパルス
4-2 バイアスパルス
4-3 シンクロナイズドパルス
5.エッチングの課題
5-1 形状異常
5-2 プラズマ誘起ダメージ
5-3 量産における課題
6.最新エッチング技術
6-1 ロジックデバイス向けエッチング技術
6-2 メモリデバイス向けエッチング技術