こちらは9/30実施WEBセミナーのアーカイブ(録画)配信です。期間中何度でも視聴できます
1.最新MOSトランジスタの開発動向
1-1.高速・高集積化のためのプレーナ型から3次元構造への移行
1-2.歪シリコン、FinFETやナノシートMOSFETの採用
2.CMOSについて
2-1.CMOS回路の特徴
2-2.CMOS回路の実際
2-3.CMOSプロセスと構造
3.シリコン半導体基礎
3-1.結晶構造と結晶方位
3-2.CGS単位とSI単位、物理定数
3-3.シリコンの定数
4.半導体の物性
4-1.バンド構造
4-2.移動度
4-3.ドーピングとシート抵抗
(1)P形、N形半導体とドーパント
(2)シート抵抗
(3)シート抵抗の測定法
①四探針法
②Van der Pauw法
4-4.オーミックコンタクト
4-5.光導電効果
4-6.ホール効果
4-7.ピエゾ効果
5.PN接合
5-1.電流-電圧特性
(1)計算式
(2)演習①
5-2.空乏層の拡がり
(1)階段接合
(2)傾斜接合
(3)演習②
5-3.接合容量
(1)階段接合
(2)傾斜接合
(3)演習③
5-4.耐圧
(1)ブレークダウン耐圧
①アバランシェ降伏(なだれ降伏)
②ツェナー降伏
③アバランシェ降伏とツェナー降伏の温度特性
(2)階段接合(無限大平面の場合)のブレークダウン電圧
(3)演習④
(4)空乏層の伸びとブレークダウン電圧の関係
(5)演習⑤
(6)コーナーRがある場合
(7)演習⑥
(8)空乏層の伸びとパンチスルー
6.キャリアの拡散長とバイポーラ動作
(1)アインシュタインの関係式とキャリアの拡散長
(2)演習⑦
(3)バイポーラ動作と耐圧
① BVCBOとBVCEO
(4)演習⑧
7.不純物濃度の求め方
7-1.キャリア濃度から
7-2.体積抵抗率とキャリア濃度の関係グラフ
(1)演習⑨
7-3.ドーズ量と接合深さから
7-4.一般的な文献値から
8.MOS素子基本特性
8-1.MOS構造
8-2.ゲートバイアスと反転層の形成
(1)電荷蓄積層の形成
(2)空乏層の形成
(3)反転層の形成
(4)演習⑩
8-3.C-V特性の理論
8-4.高周波と低周波のC-V特性
(1)高周波のC-V特性
(2)低周波のC-V特性
9.MOSトランジスタ
9-1.MOSトランジスタ電流-電圧の関係式
9-2.MOSトランジスタの閾値電圧の計算方法
(1)計算式
(2)調整方法
(3)演習⑪
9-3.LDD(Lightly Doped Drain)構造と電界緩和のしくみ
(1)階段接合と電界
(2)傾斜接合と電界
(3)最大電界強度を下げる方法
(4)LDD構造の電界緩和方法
9-4.LDD構造と信頼性向上
(1)ショートチャンネル効果の抑制
(2)ドレイン耐圧の確保
(3)パンチスルーの防止
(4)ホットキャリア劣化の抑制
10.アイソレーションと寄生MOS
10-1.寄生MOSの閾値電圧とチャネルストッパー
(1)計算式
(2)演習⑫
11.最新構造のMOSトランジスタへのアプローチ
11-1.最新構造MOSトランジスタの変遷
11-2.歪シリコンFET
11-3.FinFET
11-4.ナノシートFET
11-5.その他