水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までを1日で説明
大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に学ぶ
※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。
【アーカイブ配信：7/24～8/7（何度でも受講可能）】の視聴を希望される方は、こちらからお申し込み下さい。
１．洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？
２．洗浄の４要素（温度、時間、化学、力学）：力学が最も大切である理由
３．半導体の洗浄に特有のこと（洗浄で実現したい状態）
４．先端技術情報（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）
５．半導体洗浄の基礎現象（薬液と流れの効果）
5-1 化学で汚れを動かす操作：薬液の働き（付着・脱離・引き剥がす）と乾燥
5-2 力学で汚れを動かす操作：流れ、熱、拡散
5-3 装置内流れの種類（完全混合、押出流れ、境界層）
5-4 流れの可視化観察（「流れ」と「拡散」の感覚を動画で）
６．洗浄機内の流れと反応
6-1 枚葉式洗浄機
（１）水の流れの実例（実機の観察動画とシミュレーションの例）
（２）ノズルのスイングを続ける工学的理由
（３）化学反応の例（表面反応もここまで分かる）
6-2 バッチ式洗浄機
（１）水の流れの実例（実機の観察動画とシミュレーションの例）
（２）水流を低コストで最適化した事例（入口と出口を変える）
（３）上下揺動で流れを巻き込む
6-3 超音波の働き
（１）水と気泡の動きの実例（実機の観察動画）
７．洗浄結果の評価方法
８．狭い空間の洗浄（盲点と工夫）
９．まとめ：困った時の視点と対策（境界層を壊そう！）
１０．まとめ：困らないように（地球環境は壊さない！）
【質疑応答】