非会員：
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学生：
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1．スパッタと真空蒸着による成膜技術
1. 真空中での薄膜形成は如何に成されるか？
核形成と島状成長、スバッタのソーントンモデル、真空中の熱問題、応力と付着力、
膜厚均一性など
2. 高真空作成のポイント 水の排気の真実とは？
堀越モデルでの水の排気を理解する、パージとは何か、
クライオポンプとTMPの排気はどこが異なるのか？
3. スパッタリングは蒸着と何処が異なるのか？
スパッタリングの本質論、スパッタのダメージとは何か、スパッタのIV特性とマッチング
4. 真空・蒸着・スパッタは進歩しているか？
最近の話題
2．ゾル‐ゲル法による成膜／パターニング技術
1. ゾル-ゲル法の概要
2. ゾル-ゲル法の成膜／パターニング技術への応用
3. 技術開発動向
4. 課題・問題点
5. 将来展望
