ITO、IZO、ZnO系、SnO2系、TiO2系等の透明導電膜の特性と最新情報、成膜方法、今後の展望
1.透明導電膜を含む機能性酸化物薄膜に関する基礎
1.1 様々な透明導電膜とその特性
酸化インジウム系、酸化亜鉛系、酸化錫系透明導電膜、
アモルファス酸化インジウム-亜鉛透明導電膜
1.2 種々の透明導電材料に関する最新の話題
1.3 機能性酸化物薄膜に関する最新の話題
2.透明導電膜の成膜方法
2.1 スパッタ成膜法等、成膜プロセスの基礎
2.2 高速成膜に関する最新の話題
2.3 反応性スパッタリングの基礎と応用
3.新規透明導電材料の可能性
3.1 透明導電膜開発のストラテジー
3.2 3元系透明導電膜に関する最新の話題
4.酸化亜鉛系、酸化錫系透明導電膜の新しい展開
5.まとめ
□ 質疑応答・名刺交換□