ダイヤモンドエレクトロニクスについて、世界で初めて実現した反転層チャネルダイヤモンドMOSFETを開発し、
最前線で研究をしている講師がその魅力・最新動向、今後の展望について解説します!
1.はじめに
1.1 半導体材料としてのダイヤモンドの魅力
1.2 ダイヤモンド半導体研究の歴史
2.ダイヤモンドウェハ製造技術
2.1 成長技術(高温高圧, プラズマCVD, 熱フィラメントCVD)
2.2 不純物ドーピング技術
2.3 スライス・カット技術
2.4 研磨技術
3.ダイヤモンドダイオード
3.1 ショットキーバリアダイオード
3.2 PN接合ダイオード
3.3 ショットキーPNダイオード(SPND)
4.ダイヤモンドトランジスタ
4.1 MESFET
4.2 JFET
4.3 BJT
4.4 MOSFET
5.その他のデバイス応用
5.1 励起子を用いた深紫外線発光デバイス
5.2 負の電子親和力を用いた電子放出デバイス
5.3 ダイヤモンド中窒素-空孔(NV)中心を用いた量子デバイス/センサ
6.まとめと今後の展開
□ 質疑応答 □