超臨界二酸化炭素を用いた金属被覆技術の最新動向【WEBセミナー】

「超臨界流体技術」と「めっき技術」の融合で何が可能になるのか。
半導体配線・ウェアラブルデバイスへの応用や今後の展望など。

金属被覆技術【WEBセミナー】

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2025年12月12日（金） 13:00～16:30

サイエンス＆テクノロジー（株）

Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。　

非会員： 39,600円（税込）
会員： 37,840円（税込）
学生： 39,600円（税込）

定　価　：1名につき 39,600円（税込）
会員価格：1名につき 37,840円　2名の場合 49,500円、3名の場合 74,250円（税込）

※上記会員価格は受講者全員の会員登録が必須となります。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※他の割引は併用できません。
※請求書は主催会社より代表者のメールアドレスにご連絡いたします。

アーカイブ配信について
視聴期間：【12/15～12/21中】を予定しております。
※アーカイブは原則として編集は行いません。
※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のメールご連絡をいたします。

※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

【ライブ配信（Zoom使用）セミナー】
・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
　PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
・お申し込み後、接続確認用URL（https://zoom.us/test）にアクセスして接続できるか等ご確認下さい。
・後日、別途視聴用のURLをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。

企業での技術開発をしている方には特別な知識は必要ありません。

・電解めっき法に現存する技術課題を理解し、
　超臨界二酸化炭素を用いることでどのようにその技術課題が解決できるかを理解できる。
・超臨界流体技術と電解めっき技術の融合技術に関して理解できる。

　講演者は、超臨界二酸化炭素を電解めっき法に応用することを提案し、長年研究を続けている。詳細には、超臨界二酸化炭素は電解質溶液と混合しないが界面活性剤を添加することにより乳濁化が可能であることに着目し、超臨界二酸化炭素／電解質溶液のエマルション状態を電気化学反応の反応場に応用することを提案している。この乳濁化により液面が上昇して系全体が通電し、電気化学反応を行うことができる。電気めっき反応は極めて制御性の高い高効率な電気化学反応であり、超臨界流体という低粘性媒体で行うことができれば様々な利点が生まれることは明白である。この超臨界二酸化炭素を含むエマルションを反応場として用いた新規めっき反応を、超臨界ナノプレイティング（ＳＮＰ）と命名した。ＳＮＰ法によりピンホールが無い高品質めっき皮膜が得られ、その皮膜のレベリング効果が高いことが明らかになった。ピンホールは、めっき浴中の水の電気分解により陰極板表面に発生した水素ガスが原因であることが知られている。ピンホールが無い理由としては、ＳＮＰ法では、電気化学反応場は超臨界二酸化炭素とめっき液のエマルションであることから、金属の析出反応と同時に発生する水素が超臨界二酸化炭素に相溶することが考えられる。この析出反応とほぼ同時に行われる基板上の水素気泡の洗浄により、ピンホール及びクラックの発生が抑えられたものと考えられている。電解めっき反応において、ピンホールを無くすことにより、無欠陥のめっきが得られることで様々な技術的展開が得られる。講演者は、このＳＮＰ法を用いて様々な金属の無欠陥の高速金属被膜析出技術、ボイドフリーの半導体銅配線技術を開発した。また、無電解めっき方法にこのＳＮＰ法を利用することで、ノジュール発生の抑制、高分子皮膜への均一金属被覆、更に最近には、糸一本への金属被覆を実現している。これらの技術は、半導体配線技術、MEMS形成技術、ウェアラブルデバイスへの応用が期待される。
　本講演では、このＳＮＰ法でどのようなことができるのかについて述べる。