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よくある質問
クリーンルーム技術の発展は、半導体製造用クリーンルームが牽引してきたといっても過言ではなく、これまで様々な汚染問題の検証や技術の開発がなされてきました。これらは、先人達が苦労して築き上げてきたものであり、論文や書籍等で伺い知る事ができます。一方、クリーンルームは様々な産業で使用されるようになってきているものの、各社でクリーン化を担当している方々におかれては、クリーンルームの基本的な維持管理など、相談する相手がいなかったり、先に述べた論文・書籍等を知らなかったり、様々な点で苦労していることが多いと思われます。
本セミナーは、初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する予定です。
つきましては、日頃の業務に役立てて頂きたく、ぜひ本セミナーにご参加下さいますよう、お願い申し上げます。
1.はじめに
2.クリーンルームの概要
・クリーンルームとは
・粒子の挙動と捕集理論
・エアフィルタの概要
・非一方向流と一方向流の違い(動画による比較)
・クリーンルームの指針や規格
・清浄度の決定・計算方法
3.クリーンルームの気流制御・局所化
・清浄度に影響を与える要因
・気流制御の要点(動画による解説)
・局所化の基本と実施例
4.クリーンルームの維持管理
・維持管理の概要
・室内発生源(作業者からの発塵など動画やデータで説明します)
・清浄度管理(衣服の管理、清掃方法、モニタリング時の注意事項など)
・特殊機器(イオナイザー)からの発塵と対策
5.クリーンルームあれこれ
・計画時の留意点
・よくある失敗例
・回復試験とは(ISO14644-3)
・ソリューション事例
(ワースポイントの推定、清浄度測定システム、リーク試験システムなど)
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