エアロゾルデポジション法の基礎から、製膜体の特性、用途展開、実用化の課題・事例、今後の展望などに関して、同技術を世界で初めて実用化・量産化された講師が、商品化の着眼点から実用化で苦労した点を含めて解説します。
1.はじめに
1.1 会社概要について
1.2 エアロゾルデポジション法の沿革について
2.エアロゾルデポジション法技術
2.1 エアロゾルデポジション法技術とは
2.2 本技術の特徴について
2.3 製膜体の構造について
2.4 製膜メカニズムについて
2.5 製膜性について
2.6 他の製膜技術との比較
3.エアロゾルデポジション法の製膜体の特性
3.1 機械的特性について
3.2 電気的特性について
3.3 光学的特性について
3.4 各種セラミックスの製膜体と特性について
4.エアロゾルデポジション法技術の用途展開と実用化
4.1 エアロゾルデポジション法技術の用途展開について
4.2 具体的な用途展開
4.2.1 摺動性部材への展開
4.2.2 絶縁性部材への展開
4.2.3 電波吸収体への展開
4.2.4 耐食性部材への展開(半導体製造装置部材としての実用化)
5.エアロゾルデポジション法の今後の展望
6.最後に
□質疑応答・名刺交換□