2019年08月28日（水）
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SAWデバイス開発者、製造技術者、これからSAWを始めようとする技術者
特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします
SAWデバイスの基礎知識、SAWデバイスの技術動向、開発テーマの考え方、開発テーマの進め方、製造現場での良品率の改善の仕方
弾性表面波(SAW)は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への応用はテレビの映像中間周波数(VIF)用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。特に近年、スマートフォンの普及による周波数の混雑対策として、(1)急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ、(2)第5世代用等、より高周波フィルタの要求など、ますますSAWフィルタへの期待が高くなっている。
講演者は、VIF用SAWフィルタの開発後、11年間製造現場に従事してその実用化に成功し、その後、異動した開発部門では、多くの特徴ある世界初の移動帯通信用SAWデバイスの開発・実用化に成功した。東北大に異動後は、板波を用いた、高周波デバイスや超広帯域なデバイス、LiTaO3薄板と水晶基板を用いた高Q、ゼロTCF,スプリアスフリーのデバイスに開発に成功している。本講演者は、このように、SAWの研究の黎明期から現在に至るまで、SAWの開発・実用化・製造に取り組んできている。これらの経験を活かし、SAWデバイス開発・実用化・製造現場での成功の要因や苦労話などをもり込みながら、SAWの原理、SAWの種類、SAW用材料、SAWデバイスの種類、なぜこのような開発テーマを考えたかなどの開発テーマの出し方、開発の進め方、今後のSAW技術の動向、技術者としての経験等について講演する。
1.SAWの原理
1-1 SAWとは
1-2 SAWとバルク波の違い
1-3 SAWの励振
2.SAWの種類
2-1 ﾚｲﾘｰ波
2-2 漏洩弾性波
2-3 縦波型漏洩弾性波
2-4 セザワ波
2-5 BGS波
2-6 ラブ波
2-7 板波（ラム波、SH波）
2-8 層状構造弾性波
2-9 境界波
3.SAWの解析方法
3-1 Campbell－Joneの方法
3-2 FEM
4.SAW用材料
4-1 セラミック（PZT等）
4-2 薄膜（ZnO等）
4-3 単結晶（LiTaO3,LiNbO3,水晶、LBO,ランガサイト等）
5.SAWデバイスの種類
5-1 トランスバーサル型フィルタ
5-2 SAW共振子
5-3 縦波型共振子フイルタ
5-4 横波型共振子フィルタ
5-5 ラダーフィルタ
5-6 他
6.SAWデバイスの開発・実用化例
6-1 トランスバーサル型フィルタ（テレビVIF用）
6-2 共振子（レイリー波、漏洩弾性表面波、BGS波、境界波等）
6-3 縦結合共振子フィルタ（IFフィルタ、RFフィルタ）
6-4 横結合共振子フィルタ（IFフィルタ）
6-5ラダー型フィルタ（RFフィルタ、デュプレクサ）
7.現在開発中のSAWデバイス
7-1 広帯域板板波共振子、フィルタ
7-2 （キャビティ型、音響多層膜型）
7-3 高周波板波（ラム波）共振子
7-4 高QSAW共振子
8.実用化にいたらなかったSAWデバイスの例とその要因
8-1 ゼロ温度特性をもつSAWデバイス
8-2 LSAWの高次モード
8-3 分極反転デバイス
8-4 音響光学波長可変フィルタ
8-5 他
9.今後の動向
10.技術者として仕事の進め方
【質疑応答・名刺交換】
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