※オンライン会議アプリZoomを使ったWEBセミナーです。ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】
 
~リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術など~

セミナー概要
略称
レジスト【WEBセミナー】
セミナーNo.
開催日時
2021年05月25日(火) 10:30~16:30
主催
(株)R&D支援センター
問い合わせ
Tel:03-5857-4811 E-mail:info@rdsc.co.jp 問い合わせフォーム
講師
(株)光機能材料研究所 代表取締役 工学博士 花畑 誠 氏
価格
非会員:  55,000円 (本体価格:50,000円)
会員:  44,000円 (本体価格:40,000円)
学生:  55,000円 (本体価格:50,000円)
価格関連備考
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円(税込)から
 ・1名で申込の場合、44,000円(税込)へ割引になります。
 ・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円(2人目無料)です。
会員登録とは? ⇒ よくある質問
定員
30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
持参物
受講にはWindowsPCを推奨しております。
タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
備考
・本セミナーは「Zoom」を使ったWEB配信セミナーとなります。

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1)Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
2)セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについてはこちらをご覧ください。
3)開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
講座の内容
受講対象・レベル
(1)レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
(2)半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々およびリーダークラスの方々。
習得できる知識
・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
・レジストの品質管理手法
・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
・リソグラフィープロセスの最適化方法
・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力
プログラム

1.リソグラフィの基礎
 (1)リソグラフィーとは
 (2)露光システムとリソグラフィー装置の変遷
2.レジスト材料とその高性能化
 (1)パターンニング用レジスト材料(総論)
 (2)G線、i線用レジスト
 (3)KrF用レジスト
 (4)ArFおよびArF液浸用レジスト
 (5)EUV用レジスト
3.レジスト製造技術と品質管理
 (1)レジスト製造技術
 (2)レジストの性能安定化技術
  (3)品質管理-その項目と方法
4.レジスト材料の評価技術
 (1)性能評価
 (2)品質評価
 (3)シミュレーション技術
5.レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
 (1)種々のトラブルとその解決策(材料面から)
 (2)種々のトラブルとその解決策(プロセス面から)
 (3)顧客対応の方法
6.20nm以下のリソグラフィー技術
 (1)ダブルパターンニング技術
 (2)DSA技術とその材料
 (3)ナノインプリント技術
 (4)今後のリソグラフィー技術
【質疑応答】

キーワード
レジスト,リソグラフィ,材料,プロセス,装置,半導体,デバイス,セミナー,研修,講習会
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