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※オンライン会議アプリZoomを使ったWEBセミナーです。ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】
　
～リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術など～

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要
略称
レジスト【WEBセミナー】
セミナーNo.
210541
開催日時
2021年05月25日（火） 10:30～16:30
主催
（株）Ｒ＆Ｄ支援センター
問い合わせ
Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。　
価格
非会員：  55,000円 （本体価格：50,000円）
会員：  44,000円 （本体価格：40,000円）
学生：  55,000円 （本体価格：50,000円）
価格関連備考
会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円（税込）から
　・1名で申込の場合、44,000円（税込）へ割引になります。
　・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円（2人目無料）です。
会員登録とは？　⇒　よくある質問
定員
30名　※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
持参物
受講にはWindowsPCを推奨しております。
タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
備考
・本セミナーは「Zoom」を使ったWEB配信セミナーとなります。

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
１）Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
２）セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。Zoom WEBセミナーのはじめかたについてはこちらをご覧ください。
３）開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
講座の内容
受講対象・レベル
（１）レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
（２）半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々およびリーダークラスの方々。
習得できる知識
・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
・レジストの品質管理手法
・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
・リソグラフィープロセスの最適化方法
・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力
プログラム

１．リソグラフィの基礎
　（１）リソグラフィーとは
　（２）露光システムとリソグラフィー装置の変遷
２．レジスト材料とその高性能化
　（１）パターンニング用レジスト材料（総論）
　（２）G線、i線用レジスト
　（３）KrF用レジスト
　（４）ArFおよびArF液浸用レジスト
　（５）EUV用レジスト
３．レジスト製造技術と品質管理
　（１）レジスト製造技術
　（２）レジストの性能安定化技術
  （３）品質管理－その項目と方法
４．レジスト材料の評価技術
　（１）性能評価
　（２）品質評価
　（３）シミュレーション技術
５．レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
　（１）種々のトラブルとその解決策（材料面から）
　（２）種々のトラブルとその解決策（プロセス面から）
　（３）顧客対応の方法
６．20nm以下のリソグラフィー技術
　（１）ダブルパターンニング技術
　（２）DSA技術とその材料
　（３）ナノインプリント技術
　（４）今後のリソグラフィー技術
【質疑応答】

キーワード
レジスト,リソグラフィ,材料,プロセス,装置,半導体,デバイス,セミナー,研修,講習会
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