『帯電現象(チャージアップ現象)』や『コンタミネーション』の原因とその回避法とは?
1.走査電子顕微鏡の基礎
1-1 SEMの歴史
1-2 SEMの原理と構成
1-3 SEMの基本操作
1-4 SEM観察条件の設定
2.低加速電圧観察法
2-1 低加速電圧観察のメリット、デメリット
2-2 低加速電圧観察の高分解能化
2-3 低加速電圧による解析例の紹介
3.低真空SEM観察
3-1 低真空SEMとは
3-2 低真空SEM観察のメリットと観察例
3-3 クールステージによる食品の観察
4.断面試料作製法
4-1 簡便な断面試料作製法の紹介
4-2 BIB(Brode Ion Beam)を用いた断面試料作製
4-3 BIB加工試料のSEM観察例の紹介
5.像障害の回避法
5-1 帯電現象(チャージアップ現象)の原因とその回避法
5-2 コンタミネーションの原因とその回避法
6.今後の展望
キーワード:走査電子顕微鏡、低加速電圧観察法、高輝度電子銃、低収差対物レンズ、BIB(Brode Ion Beam)法