こちらは8/21実施WEBセミナーのアーカイブ（録画）配信です。
【視聴期間：8/24～8/31】期間中何度でもご視聴いただけます。
１．性能改善や品質安定化に適切な成膜手法や成膜条件を選定できるようになる
Introduction 成膜方法により生じる膜質変化の具体例
1-1 何に注目して成膜プロセスの制御を考えるのか
1-2 スパッタと真空蒸着の違い
1-3 成膜装置と真空を扱うために知っておきたい基礎知識
1-4 薄膜の初期構造や微視的組織、膜応力はどのように形成されるのか
・基板に到達した原子はどのような動きをするのか？
・主要な成膜パラメータがどのように薄膜形成に影響するのか？：その効果と選び方
1-5 膜形成プロセスを利用した膜質制御の具体例と成膜最適化の考え方
・シャドウイング効果と段差被覆性の改善
・ウルトラクリーンプロセスでの膜質改善
・SZMを使った膜質制御
・成膜制御と成膜条件の最適化の考え方
２．膜の均一性・均質性を制御できるようになる
Introduction 膜質を効果的に制御する具体例
2-1 スパッタリングの成膜環境
2-2 プラズマとは：制御パラメータと評価方法
2-3 イオン・高エネルギー粒子の照射現象とその活用のメリット･デメリット
2-4 基板バイアス成膜などプラズマを利用した膜質制御の具体例と膜質向上の考え方
・プラズマの不均一性による密着性のバラツキ
・膜面内の比抵抗値分布の均一化
・性能のトレードオフ関係の克服：硬質コーティングの多機能化
３． 密着力評価をトラブル解決や耐久性向上に活かせるようになる
Introduction よくある剥離トラブル事の対応における失敗例
3-1 薄膜の密着力とは
・基板と薄膜の界面の構造
・異種材料界面がくっついている根本的な原因と界面に働く相互作用
・密着と粘/接着との違い
3-2 剥離を起こしている材料的要因を簡単に絞り込む方法
・４つの観点から剥離要因を絞り込む手法
・「剥離がなぜ起きるか？」から考えることから始めるトラブルへの対処法
・薄膜が剥離するとは？：剥離原因・負荷条件により変わる様々な剥離･破壊のモード
3-3 密着性を改善するには
・Griffithの破壊の考え方と剥離を起こさせない条件
・エネルギー解放率による密着性改善の考え方と密着性を向上させる具体的方策
3-4 スクラッチ試験による密着力測定と材料設計への活かし方
・スクラッチ法が役に立つ3つの理由
・スクラッチ試験で生じた剥離外観を密着性改善に生かす方法：スクラッチマップの活用
４．まとめ