ダイヤモンドウェハ、半導体デバイス、その他のデバイス応用に関する研究開発の現状、課題、最新動向を解説して頂くことにより、本業界に関わる方々のビジネスに役立てて頂くことを目的とします。
1 はじめに
1-1 半導体材料としてのダイヤモンドの魅力
1-2 ダイヤモンド半導体研究の歴史
2 ダイヤモンドウェハ製造技術
2-1 成長技術(高温高圧, プラズマCVD, 熱フィラメントCVD)
2-2 不純物ドーピング技術
2-3 加工技術(スライス・カット,研磨技術)
3 ダイヤモンドダイオード
3-1 ショットキーバリアダイオード
3-2 PN接合ダイオード
3-3 ショットキーPNダイオード(SPND)
4 ダイヤモンドトランジスタ
4-1 MESFET
4-2 JFET
4-3 BJT
4-4 MOSFET
5 その他のデバイス応用
5-1 深紫外線発光デバイス
5-2 電子放出デバイス
5-3 ダイヤモンド電気化学電極
5-4 ダイヤモンド中窒素-空孔(NV)中心を用いた量子デバイス/センサ
6 まとめと今後の展開