1. 弾性体の基礎
1-1 音波
1-2 弾性体の結晶構造
1-3 歪と応力の関係
1-4 弾性定数
(スティフネス、コンプライアンス、(ポアソン比、ヤング率))
1-5 運動方程式
1-6 弾性体の縦波音速、横波音速は何に依存している、どのように求める
2. 圧電体とは
2-1 圧電現象
2-2 圧電方程式(圧電定数)
2-3 結晶構造のおける圧電定数の違い
2-4 電気機械結合係数
3. BAWとFBAR
3-1 バルク波(BAW)とは
3-2 厚みすべり振動とは
3-3 厚み縦振動とは
3-4 FBAR用材料
3-5 成膜方法
3-6 BAWやFBARの厚み振動共振子の周波数は何で決まる
3-7 厚み振動共振子の帯域は何で決まる
3-8 エネルギー閉じ込め振動とは
3-9 キャビティ構造とSMRの違いは
4. 共振子とラダーフィルタ
4-1 共振子
4-2 ネットワークアナライザによる共振子特性の測定
4-3 スミスチャート、動アドミタンス特性
4-4 共振周波数、反共振周波数とは
4-5 電気機械結合係数
4-6 Qとは
4-7 等価回路
4-8 2重モードフィルタとは
4-9 ラダーフィルタとは
4-10 フィルタの帯域は
4-11 帯域は何に依存する
4-12 高周波化するには
5. SAW
5-1 SAWとは
5-2 SAWとBAWの違い
5-3 SAWの励振
5-4 SAWの種類
5-5 レイリー波
5-6 漏洩弾性波
5-7 縦波型漏洩弾性波
5-8 セザワ波
5-9 BGS波
5-10 ラブ波
5-11 層状構造弾性波
5-12 境界波
6. 板波
6-1 板波とBAWやSAWとの違いは
6-2 ラム波と横波型(SH型)板波
6-3 LiNbO3やLiTaO3薄膜を用いたデバイスの例
7. SAWの解析方法
7-1 Campbell-Joneの方法
7-2 パワーフロー角
8. SAW用材料
8-1 セラミック(PZT等)
8-2 薄膜(ZnO等)
8-3 単結晶(LiTaO3、LiNbO3、水晶、LBO、ランガサイト等)
9. SAW共振子
9-1 SAW共振子の原理
10. SAWフィルタの種類
10-1 トランスバーサル型フィルタ
10-2 縦波型共振子フィルタ
10-3 横波型共振子フィルタ
10-4 ラダーフィルタ
11. 近年話題のSAWデバイス
11-1 近年要求される特性(温度特性、高Q、スプリアス等)
11-2 異種材料基板を組み合わせたSAWデバイス
11-2-1 異種基板を組み合わせた温度特性の良好なSAWデバイス
11-2-2 異種基板とを組み合わせた高QなSAWデバイス
11-3 広帯域弾性波デバイス
11-3-1 空洞型板波
11-3-2 音響多層膜構造SAWデバイス
11-4 高周波弾性波デバイス
11-4-1 高次モードを利用したSAWデバイス
11-4-2 空洞型板波
11-4-3 音響多層膜構造SAWデバイス
11-4-4 高調波SAW(8.2 GHz SAW)
12. 薄膜や単結晶を用いたBAWデバイス
12-1 空洞型BAWデバイス
12-1-1 AlNやScAlN膜BAW
12-1-2 LN薄板BAW
12-1-3 LT薄板BAW
12-2 音響多層膜構造BAWデバイス
12-2-1 AlNやScAlN膜音響多層膜構造
12-2-2 LN音響多層膜構造
12-2-3 LT音響多層膜構造
12-3 高周波BAWデバイス
13. 実用化例