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★ 自動車関係から携帯情報機器のユーザインターフェース、製造・検査、医療・バイオなどで成長中！
★ ＭＥＭＳ技術の基礎からセンサ、アクチュエータなど実用面、各業界での応用トレンドまでわかる！

ＭＥＭＳ技術のトレンドと最新技術動向
～センサ・アクチュエータに求められるプロセス・材料～

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セミナー概要
略称
MEMSトレンド
セミナーNo.
st160607
開催日時
2016年06月16日（木） 10:30～16:30
主催
サイエンス＆テクノロジー（株）
問い合わせ
Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム
開催場所
きゅりあん　4F 研修室
価格
非会員：  49,500円 （本体価格：45,000円）
会員：  47,025円 （本体価格：42,750円）
学生：  49,500円 （本体価格：45,000円）
価格関連備考
48,600円 (会員受講料 46,170円 )
定価：本体45,000円＋税3,600円
会員：本体42,750円＋税3,420円
【2名同時申込みで1名分無料（１名あたり定価半額の24,300円）】
　　※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。
　　※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
　　※3名様以上のお申込みの場合、上記１名あたりの金額で追加受講できます。
　　※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
備考
※資料・昼食付
講座の内容
習得できる知識
MEMSに関する、概要、製作技術、要素、応用などを学ぶことができます。
趣旨
　MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、半導体微細加工技術を応用して、小形で高度な機能部品を作る技術である。センサやアクチュエータなどを電子回路と集積化して作ることができる。
　自動車関係から携帯情報機器のユーザインターフェース、製造・検査、医療・バイオなどに幅広く使われ、その売り上げは13%/年の割合で成長している。これは多様な技術を組み合わせて様々な用途に使われ、しかも標準化し難いため、開発がボトルネックになっている。知識へのアクセスや設備利用などでのコラボレーションも重要であり、本セミナーではそのための具体的な情報を提供する。
プログラム

１．マイクロマシーニングとＭＥＭＳ

２． 製作
　2.1 パターニング
　2.2 エッチング
　　2.2.1 ウェットエッチング
　　2.2.2 ドライエッチング
　2.3 堆積と応力制御
　2.4 接合
　2.5複合プロセスと表面マイクロマシーニング
　2.6 集積化
　2.7 パッケージングと組立
　2.8 設計・評価

３．要素
　3.1 センサ
　3.2 アクチュエータ
　3.3 エネルギ源

４．応用
　4.1 自動車・家電応用
　4.2 情報・通信応用
　4.3 製造・検査応用
　4.4 医学・バイオ応用
　4.5 ＭＥＭＳビジネス

　　□質疑応答・名刺交換□

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