⭐本セミナーでは、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します
2日間分のアーカイブ配信をご受講される方は下からお申込みください。
こちらは11/7、11/8実施WEBセミナーのアーカイブ（録画）配信です。期間中何度でも視聴できます
【１日目】11月7日（木）10：30～16：30
1．MEMSの使われ方
1-1. 概論
1-2. 自動車・スマートホンなどで使われる(量産)MEMS
1-3. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる(量産・高付加価値)MEMS
1-4. インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる(高付加価値)MEMS
2. 基本プロセス
2-1. 基本プロセス1
(パターニング、エッチング)
2-2. 基本プロセス2
(堆積と応力制御、接合)
<質疑応答>
【２日目】11月8日（金）10：30～16：30
3. 組合せプロセス
3-1. 組合せプロセス1
(バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング)
3-2. 組合せプロセス2
(ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止)
4. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
4-1. ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、
光MEMS、失敗物語
4-2. MEMSの要素
(センサ、アクチュエータ、エネルギ源)
4-3. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他
<質疑応答>