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⭐本セミナーでは、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します

2日で学ぶMEMS技術入門講座：基礎から応用技術・最新動向まで（2日目）【アーカイブ配信】
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こちらは11/8（2日目）実施WEBセミナーのアーカイブ（録画）配信です。期間中何度でも視聴できます

※受付を終了しました。最新のセミナーはこちら

セミナー概要
略称
MEMS（2日目）【アーカイブ配信】
セミナーNo.
240794A
配信開始日
2024年11月11日（月）
配信終了日
2024年11月22日（金）
主催
（株）R＆D支援センター
問い合わせ
Tel：03-5857-4811　E-mail：info@rdsc.co.jp　問い合わせフォーム
価格
非会員：  55,000円 （本体価格：50,000円）
会員：  49,500円 （本体価格：45,000円）
学生：  55,000円 （本体価格：50,000円）
価格関連備考
会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円（税込）から
　・1名で申込の場合、49,500円（税込）へ割引になります。
　・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円（2人目無料）です。
■ 会員登録とは？　⇒　よくある質問
備考
・こちらは11/8（2日目）実施WEBセミナーのアーカイブ（録画）配信です。
・配信開始日までにセミナー資料、閲覧用URL（※データの編集は行っておりません）をお送りします。
・セミナー資料の無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
講座の内容
受講対象・レベル
半導体微細加工、微小電気機械システム(MEMS)、センサなどに興味をお持ちの方
必要な予備知識
特に予備知識は必要ありません。基礎から応用まで解説いたします
習得できる知識
設計や製作の基礎から応用まで
趣旨
半導体集積回路は多数のトランジスタで高度な情報処理を行うことができますが、センサやアクチュエータなどの異なる要素を融合することでさらに高度な機能を持たせることができます。このMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、システムの鍵を握る要素として使われ付加価値は高いのですが、多様で品種ごとに異なるため開発には多様な知識や試作設備へのアクセスなどのオープンコラボレーションが不可欠になります。本講義では、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します。
プログラム

【２日目】11月8日（金）10：30～16：30

3. 組合せプロセス
　3-1.  組合せプロセス1 
　　　　(バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング)
　3-2.　組合せプロセス2 
　　　　(ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止)

4. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
　4-1.　ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、
　　　　光MEMS、失敗物語
　4-2.　MEMSの要素
　　　　 (センサ、アクチュエータ、エネルギ源)
　4-3.　MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

　<質疑応答> 

※1日目の講義もご受講をご希望される場合は☆こちらからお申込みください。

キーワード
MEMS,微細加工,半導体,センサ,講演,セミナー,研修
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