蛍光X線分析法は、試料を非破壊・非接触で迅速に元素分析できる手法として、品質保証や異物解析、膜厚評価など幅広い製造現場で活用されています。本講義では、蛍光X線分析の基礎原理から装置構成、実際の分析事例までをわかりやすく解説するとともに、微小部分析や元素マッピング、全反射蛍光X線分析による微量分析などの応用技術についても紹介します。
こちらは9/8(火)実施WEBセミナーのアーカイブ(録画)配信です。期間中何度でも視聴できます
1.はじめに
1-1.X線とは
1-2.蛍光X線の発生
1-3.元素分析法における蛍光X線分析の位置づけ
1-4.蛍光X線分析法の特徴
2.蛍光X線分析装置の構成
2-1.X線の分光方法
2-2.波長分散型蛍光X線分析装置の構成
2-3.エネルギー分散型蛍光X線分析装置の構成
2-4.X線スペクトルの読み方と注意点
2-5.X線フィルターの利用
2-6.試料のマトリックス効果
2-7.標準試料と蛍光X線分析における定量分析
3.汎用的な蛍光X線分析装置の適用例
3-1.水溶液
3-2.土壌
3-3.茶葉
3-4.毛髪
3-5.金属試料
4.微小部蛍光X線分析法
4-1.X線の集光
4-2.微小部蛍光X線分析装置の構成
4-3.適用例
4-3-1.電子基板
4-3-2.バイオ試料
4-3-3.文化財・工芸品
5.全反射蛍光X線分析法
5-1.X線全反射現象
5-2.全反射蛍光X線分析装置の構成
5-3.適用例
5-3-1.水溶液
5-3-2.バイオ試料