真空技術の基礎講座

セミナータイトル

真空の基礎からポンプ、圧力測定、気密シール、リークテストについて学び、研究や実務に活かそう！

真空技術の基礎講座

セミナー概要

セミナー番号	j100664
	本セミナーは申込受付を終了いたしました。各種お問い合わせはこちらから。
会　場	（株）日本テクノセンター研修室　【東京・新宿区】
日　時	2010年6月24日(木)　10：30?17：30
聴講料	１名につき47,250円（税込、資料付き） ※昼食は付いておりません同時複数申込の場合１名：42,000円主催：株式会社日本テクノセンターお問い合わせ　03-3599-5811　ｍａｉｌ：http://www.rdsc.co.jp/contact/

【講座の内容】

【受講対象者】

・新入社員、若手技術者、部署移動した方、原理を再確認したい方など、基礎から真空について学びたい方。
・家電、電子部品、薄膜製造、建設、光学産業、冷凍乾燥、脱臭、冶金等で真空に関わる方

【予備知識】

高専卒業程度の学力がある方。初心者に分かるように講義するつもりです

【修得知識】

・真空装置を理解するために必要な真空技術の知識
・真空の物理的な意味、真空ポンプ、真空計測、気密シールの原理とその特徴に関する知識
・真空機器のメンテナンスに必要なリークテストの方法

【講師の言葉】　

　真空技術は現在広範囲な分野に使われている。応用されている分野を市場規模で見ると、最も大きい市場は半導体やFPD産業に代表される電子部品産業である。更に、レンズコーティングに代表される光学産業、凍結乾燥に代表される食品産業、真空冶金に代表される金属産業、が真空技術を使用する主な産業となる。

　一方学術・研究分野ではその実験装置に幅広く真空技術が使われている。巨大実験装置である核融合研究装置や粒子加速器をはじめ、成膜装置や薄膜加工装置が数多く研究現場で活躍している。

　この講座は、最初に「真空」とはどのような世界なのかをその物理的な現象で説明する。その後、真空にするための排気用真空ポンプを説明する。この真空ポンプは、現在使用されているものだけでも多種多様であるが、それは上記の幅広い応用分野のそれぞれに適した真空ポンプが存在するからである。次に真空の度合いを測る計測器（真空計）について解説する。この計器は真空のさまざまな物理現象を測ることになるので、その計測値に対する正しい理解をしなければならない。真空機器は絶えず大気に対する気密を保たなければならない。このための機械的構造を解説していく。最後は、気密構造がしっかり保たれているかどうかを調べるリークテストについて解説する。その理由は、このテストは真空機器を取り扱うために必要なテクニックであるためである。

【プログラム】

１．真空技術の基礎

　　1．真空の世界
　　2．真空中の気体分子の運動
　　　　ａ．理想気体
　　　　ｂ．マクスウェルの速度分布
　　　　ｃ．平均自由行程
　　　　ｄ．入射頻度
　　3．気体分子が運ぶ物理量
　　4．コンダクタンスと気体の流れ
　　5．オリフィスコンダクタンスと体積表示とポンプの排気速度の表示
　　6．気体分子の流れ（粘性流と分子流）と導管のコンダクタンス
　　7．ガス放出と真空排気
　　8．真空の壁の表面で起こっていること
　　9．気体分子の吸着と脱離
　　10．真空壁の表面処理
　　11．脱離エネルギーと排気時間（ベーキング効果）

２．真空ポンプ

　　1．真空ポンプの分類と排気系内の圧力分布
　　2．容積移送型ポンプ
　　　　?水封ポンプ?
　　　　　ａ．油回転ポンプ
　　　　　ｂ．ルーツポンプ
　　　　　ｃ．ドライポンプ
　　3．運動量授与型ポンプ
　　　　ａ．ターボ型ドライポンプ
　　　　ｂ．モレキュラードラッグポンプ
　　　　ｃ．ターボ分子ポンプ
　　　　ｄ．ハイブリッド型ターボ分子ポンプ
　　　　ｅ．油拡散ポンプ
　　4．物理吸着型ポンプ
　　　　ａ．ソープションポンプ
　　　　ｂ．クライオポンプ
　　5．化学吸着型ポンプ
　　　　ａ．ゲッターポンプ
　　　　ｂ．チタンサブリメーションポンプ
　　　　ｃ．スパッタイオンポンプ

３．圧力測定（真空計）

　　1．日本の真空度標準
　　2．圧力を測定する
　　　　・ダイアフラム真空計（キャパシタンス真空計）
　　3．気体分子による熱の移動量を測定する
　　　　・熱伝導真空計（ピラニ真空計、熱電対真空計）
　　4．気体分子による粘性を測定する
　　　　・スピニングロータ真空計　
　　　　・水晶摩擦真空計
　　5．気体分子の数を測定する（イオン化して電流として測定）
　　　　・熱陰極電離真空計（三極型、BA型）
　　　　・冷陰極電離真空計（ペニング型、マグネトロン型）
　　6．分圧計

４．気密シール

　　1．接合技術
　　2．真空フランジ
　　3．軸シール

５．リークテスト

　　1．許容リーク量
　　2．リークの有無の判断法
　　3．リークの場所の判断法
　　4．リークデテクタ
　　5．実際のリークテスト